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选用水环真空泵需要考虑的问题

发布时间:2021-12-27 13:53浏览次数:

       1.水环式真空泵的工作压力应符合真空设备的极限真空和工作压力的要求。例如:真空镀膜需要1×10-5毫米汞柱真空度,选择真空泵时,应选择至少5×10-6毫米汞柱。通常选择的泵真空度要比真空设备真空度半到一数量级。
   水环式真空泵




        2.在水环式真空泵中适当选择工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如:扩散泵的抽速范围是10-3~10-7mmHg,在较大的压力范围内,泵抽速随压力的变化而变化,其工作压强范围在5~10mmHg之间。所以,应该选择泵的工作点,不要让它在10-8毫米汞柱下长时间工作。又有一种说法是钛的升华泵可以工作在10-2毫米汞柱,但其工作压力应小于1×10-5mmHg。
       3.在工作压力下,水环式真空泵应能排除真空装置过程中产生的所有气量。
       4.适当配置水环真空泵。因为真空泵具有抽选泵的选择性,有时候选择泵无法满足泵的需求,需要多个泵组合,互相补充,满足泵的需求。举例来说,钛升华泵对氢的抽气速度很高,但却不能抽送氦,三极溅射泵(或者说三极非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽气速度,这两者的结合可以使真空装置得到更好的真空。另外,部分真空泵无法在大气压下工作,需要预真空,部分真空泵出口压力低于大气压,需要前泵,需进行组合泵。
       5.真空设备中油污的要求。如设备严格要求不用油,应选用各类无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、飞溅泵、低温泵等。如果要求不严格的话,可以选择带油泵,并增加一些防污措施,如加冷井、隔油井、隔油井等,都能达到要求的真空。
       6.了解抽吸气体的成分.气体不含凝结物.无颗粒灰尘.有无腐蚀性等。选择真空泵时,要了解气体的组成,根据抽吸条件选择相应的泵。如果气体中有水蒸气.颗粒.腐蚀性气体,就应该考虑在泵的入口.出口处安装冷凝器.吸尘器等辅助设备。
       7.真空泵排出的油蒸气如何影响环境。如果环境不容许污染,可选用无油真空泵,或向室外排放油蒸汽。
       8.真空泵工作时产生的振动是否对生产过程和环境有影响。当生产工艺不允许时,应选择无振动泵或采取防振措施。
       9.真空泵价.运行和维护费用。